哪怕是拥有诸多支持,拥有大量的资源,研制光刻机依旧是困难重重。
他指着光学系统,说道:“DUV光刻机需要由15-20个直径200-300mm的透镜组成的透镜组;
EUV光刻机则需要由20多块“锅底大”的镜片串联组成的反射系统。
镜面表面起伏要求极其严苛,如30cm长的镜子起伏不超过0.3nm!”
“这一项技术,目前在国内,还没有能实现。”
“更别说对光学元件进行原子级精度的抛光和高精度镀膜……”
郭汝京一想到这些完全没有储备的技术,就觉得头脑发热。
单一研制光刻机的国家,基本不存在。
而现在,紫晶工厂要做的,就是突破这全球的限制,完全依赖国内的厂家,或者自身研制,造出一台光刻机来!
“0.3nm的起伏……这,郑稳都摸不出来吧?”蒋新松有些咋舌。
“嗯,我已经联系了国内几家光学顶尖的实验室,咨询了一番,但暂时还是没有消息。”郭汝京指着上面任务里的备注,写着正在求助,待攻克。
蒋新松理了理头绪,然后看向运动模块,问道,“工件台与掩模台的进度,怎样了?”
“精密运动与定位系统啊……”郭汝京又点开另一个模块,面露难色的说道:“情况也不太妙啊!”
他一一点开里面的详细任务,这个蒋新松倒是不需要他的解释,就完全能看懂。
制造能够在高速运动下(如扫描曝光)实现亚纳米级定位精度的双工件台系统。
其定位精度需小于10nm,甚至要达到3nm以内的套刻精度要求。
研发应用激光干涉仪、光栅尺等超精密测量传感器,以及直线电机、压电陶瓷等驱动器,实现对晶圆和掩模版的实时位置反馈与控制 。
这些都是超精密的器件。
如果只是一般的光栅尺,或许万八千就能买到,但是要放在光刻机上,显然不够。
蒋新松看着下面一堆红色的待开展任务,也不禁皱起眉头,“这需要更高性能的点击,才能实现运动的精度。”
“而因为灯塔国的制裁,发那科、西门子等大集团,都已经中断了咱们采购性能级以上的电机……”
他觉得十分棘手。
现在的情况,真的就是,几乎是一颗螺丝,都得自己造,人家都不肯卖给你。
而这些,在国内又没有替代品。特别是高端电机,目前初苗集团的德多电机,就已经是国产电机的领军人物了。
压根找不到第二家能直接买来使用的。
“哎,还是得等老钱发力啊!”郭汝京感慨说道。
好在这条路也不是只有他一个人,整个光科技项目,牵扯进来的团队不下百个,上万名工程师,都在研究着。
其中还有不少高校的团队,也在接到紫晶工厂的委托研究任务后,加入到研究行列中来。
而除了核心的系统外,还有整机集成与软件控制。
需要将上述数十万个零部件(包括4万个螺栓、3千条电线、2公里长软管)进行精密组装 。
其中发光刻机的底层操作系统和控制软件,用于协调工件台运动、曝光剂量控制、自动对准、故障诊断等。包括版图设计与系统控制软件、EDA接口工具,也都
“前些日子我跟求伯君也有过沟通,EDA工具,进度也十分缓慢。”郭汝京说着这些不好的消息,也是略微有些心情沉重。
蒋新松轻轻点头,“嗯,毕竟咱们也是才开始研究工业EDA,确实积累不够……”
同样作为研发部负责人,他自然是知道刘一首的压力,那也是相当的巨大。
虽然有求伯君这位大佬在镇着,但这些软件,人家都是绝密的,又没有给你破解。
想要自己研究起来,还是十分困难。
并且要适配天窗操作系统,等于就是从零开始的研究。
“是呀,什么都要从头开始,确实不容易!”郭汝京也深知这个道理。
但是没办法。现在的情况属于是,国内能购买,用外国替代的,他都已经先买来测试,实在是买不到的,再开课题研究。
像光刻胶,除了樱花国的高端光刻胶外,其实国内也有不少的公司有。
但是以前是因为一直都没人使用,所以自然就没有资金更新迭代,也就导致持续落后。
现在郭汝京手里有的是现金,对于这些,不管行不行,只要看着可以的,有可能的,有机会的,他都先尝试买来测试一下,先看看效果。
这也确实让他找到不少,勉强可以替代的。
郭汝京带着蒋新松半响,才说道:“基础材料研发、超精密机械加工、极限光学制造、高速高精运动控制、复杂软件算法、以及极致的环境工程……诸多任务里,只有基础材料研发,目前的进度超过预期。”
“高精度的陶瓷、碳化硅等复合材料,比我预算的时间足足早了一两年。”郭汝京感叹。
他没想到,原本预料要花时间最长,最难突破的部分,竟然是最先攻克的。
“基础材料……”蒋新松看着那一栏,数十项任务中,科研方负责部门赫然写着和联钢铁厂。
负责人自然是欧皇妲。
“欧博士啊……”蒋新松一看到欧皇妲的名字,就又想起王希的邀请。
连夏国航发都想要挖墙脚,可见这欧皇妲博士在材料学中的地位和重要性。
“是呀,我估计,用不了几年,这丫头,就得拿上国家最高科技奖,啧啧,不到三十岁的最高科技奖得主啊!”郭汝京想到这传奇的材料学博士,也是忍不住的夸赞。
甚至他还觉得,这丫头,身上拥有诺贝尔之姿。
并且会成为夏国最年轻的院士。
蒋新松听着,也是直羡慕,但是他也知道,这种大气运,自己也羡慕不来。
他仔细看着那密密麻麻的科研任务,也忍不住苦笑,“咱们给欧皇妲博士的任务,是不是太多了些……不会把她给累着吧?”
如果陈岩在场,他会立即回答蒋新松,他的担忧是有道理的。
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