化工专家陈志平正穿着防护服，在旁边的配液室里像个老巫师一样调试着瓶瓶罐罐。
“别催！催命呢！”
陈志平满头大汗，“陶氏化学的顶级EUV光刻胶我也买不到了！现在用的是我自己调的配方！你要耐高温，我就得加抗热交联剂，但这会影响分辨率！”
“我不管！”梁国栋红着眼，“哪怕你是用锅底灰调出来的，只要能扛住1200瓦的轰击，我就喊你叫爹！”
“滚蛋！老子没你这么大的儿子！”
陈志平骂骂咧咧，但手上的动作却更稳了。他深吸一口气，从恒温箱里取出一瓶刚刚合成的淡黄色液体。
这是他在几千次实验中，偶然发现的一种“含氟聚合物配方”。它在极端光强下，不仅不会碳化，反而会发生一种奇异的“超感光反应”。
“试试这个。”陈志平把瓶子递进传递窗，“这是第108号配方。如果这个还不行，我就把自己扔进加速器里炼了。”
……
光刻机台前。
朱教授也在拼命。
他面临的问题更棘手——对准。
SSMB光源是连续的、高频的。为了配合这种光，晶圆台的移动速度必须极快，才能保证曝光均匀。
“速度太快，震动压不住啊！”
朱教授盯着干涉仪的数据，“晶圆台一秒钟移动500毫米，急停的时候会有微米级的余震。对于7nm工艺来说，这就像是八级地震。套刻误差直接爆表了。”
“ASML是怎么解决的？”旁边的年轻工程师问。
“ASML用的是德国蔡司的原子级反射镜和磁悬浮台，我们现在的供应链全断了，造不出来那么精密的。”朱教授咬着牙，“我们只能用土办法。”
“什么土办法？”
“以快制快，动态补偿。”
朱教授看向一直在旁边敲代码的王博。
“王博，你的‘夸父OS’能控制电子束，能不能控制我的工件台？”
“你的意思是……”王博抬头，推了推那副快要滑下来的眼镜。
“我在工件台上装了压电陶瓷传感器。震动波传导需要时间。只要你的算法够快，能不能在震动发生的前一毫秒，给电机一个反向的力，把它抵消掉？”
“主动降噪耳机的原理？”王博秒懂。
“对！给台子戴个降噪耳机！”
“能搞！”王博眼中精光一闪，“我的蜂群算法连光速跑的电子都能按住，还按不住这块铁板？只要把控制频率拉到100kHz，我就能按住这头疯牛！”
……
2019年2月4日。除夕夜。
地表之上，平塘县的村寨里已经响起了稀疏的鞭炮声。大红灯笼挂了起来，年味儿正浓。
但在地下400米，气氛凝重得几乎要爆炸。
这是最后一次尝试。
如果今晚拿不出合格的芯片，林向阳就没有底气在年后应对罗伯特的全面绞杀。
“光刻胶涂布完毕。配方：陈氏108号。” “EDA布线检查：通过。” “工件台主动抑震系统：开启。” “光源功率：1000瓦（锁定）。”
林向阳站在总控台前，手里拿着一部刚刚组装好的“火种7”工程机——它虽然做工精良，但里面是空的，因为它缺了一颗芯。
他把手机放在桌上，目光如炬。
“开始。”
滋——滋——滋——
这一次，光刻室里没有传来焦糊味。
在高速相机的监控下，那束强悍的EUV光，像是一把精准的手术刀，快速而凌厉地扫过晶圆表面。
陈志平的“108号配方”经受住了考验。它没有燃烧，而是瞬间完成了光化学反应，将掩膜版上的电路图，完美地“复印”在了硅片上。
而朱教授的工件台，在王博算法的加持下，稳如泰山。每一次急停，反向力矩都会精准地抹平震动，就像一位武林高手在化解千钧之力。
五分钟后。
“曝光完成！送入刻蚀机！”
又过了半小时。
“清洗完成！去胶完成！”
当机械臂托举着那片12英寸晶圆从传送口缓缓伸出时，所有人都屏住了呼吸。
在显微镜的高倍镜头下。
原本光洁的硅片表面，此刻布满了比迷宫还要复杂一万倍的电路纹路。
那是68亿个晶体管。 那是人类智慧的结晶。 那是7nm的物理极限。
“上探针台！测良率！”梁国栋的声音都在发颤。
滴——
测试仪的屏幕上，晶圆图谱开始刷新。无数个绿色的小方块开始亮起。
每一个绿点，代表一颗功能完好的芯片。
10%……50%……80%……
最终，数字定格。
【Yield: 92.4%】 （良品率：92.4%）
“哇！！！”
梁国栋爆发出一声撕心裂肺的哭喊，整个人瘫软在地上。
“成了！九成良率！比台积电早期还要高！”
这章没有结束，请点击下一页继续阅读！
喜欢十岁当家，用五块钱撬动商业帝国请大家收藏：(m.zuiaixs.net)十岁当家，用五块钱撬动商业帝国醉爱小说网更新速度全网最快。