袁枫点了点头，按理说英特尔8086也才三微米左右，加工精度一微米自然是足足有余了。当然，对方说的也只是理论最小精度，毕竟理论和现实还是有相当差距的。
“那加工速度怎么样？曝光时间多少？”
“图案曝光三十秒左右，加工速度就不好说了，速度要看掩膜板的数量和晶圆面积，还要计算人工流程的停机时间。如果以十张掩膜板为例，停机时间，算上晶圆尺寸……每台机器每小时大概能生产八十颗左右的半导体，算上良品率大概能有五十颗吧！当然工艺更复杂的情况下就不好说了。每小时三四十颗或这十几二十颗也是可能的，主要还是要看工艺。”
袁枫点了点头，按理说二十张板的话，一台机器，一小时能生产三四十颗芯片也算行了。就算现在的机器性能不行，只能开半天机，每天起码也能生产三四百颗，一年起码十万颗，十台机器年产能就是一百万，五百万芯片产能的话，五十台机器也就够了。
当然以国内现在的需求，似乎五百万有点多，当然，芯片也不仅仅只CPU，还有其他芯片要生产呢！而且这都是理想的情况下，实际情况可能更加的复杂，可能需要数量更多的光刻机，而且生产线也要重新设计。
就在这个时候有人拿过来一些白大褂。
几人换好白大褂，戴好帽子进入了房间……当然并不是所有人都进去了。
……
空调不断的抽离空气中灰尘颗粒……李红军则站在光刻机旁，启动机器，当机器启动成功，他则看向了袁枫：“首先，我们需要设定好曝光时间、光源强度等关键参数。这些参数将直接影响到产品的最终质量和精度。”
袁枫点点头，他知道这些都是至关重要的。他注意到控制面板上的显示屏各种数字，看来应该是光刻机在运行过程中的信息反馈。
李红军打开了光刻机的顶盖，露出了里面的晶圆平台。他小心翼翼地将一块晶圆放置在平台上并用夹具固定好。然后，他取出一个掩膜板，这是光刻过程中必不可少的部分，上面刻有电路图案的模板。
“这个掩膜板是我们自己测试用的，芯片工艺一般，不过只要图案将通过光源投射到晶圆上，最终就形成我们需要的电路结构了。”
袁枫仔细观察着掩膜板上的图案，它们虽然微小但却精细至极。他知道，这些图案的精确性将直接决定最终芯片的性能。
一切准备就绪后，李红军按下了启动按钮……光刻机开始缓缓运转起来，发出低沉的轰鸣声。光刻的过程众人也是全程目击，随着时间的推移，机器的运行声音逐渐稳定下来。
经过一段时间的等待，光刻机终于完成了曝光过程。
李红军小心翼翼地取出晶圆，展示给袁枫等人看……他们看到晶圆上呈现出清晰、完整的电路图案，似乎看起来好像是一张地图。
李红军笑着道：“这就是我们青华大学的鸟瞰图。”
袁枫见状也非常的高兴，相信有了这台机器，自己的芯片工厂就可以正式筹备了。
……
众人离开了实验室来到了计算机系的会议室坐好。
袁枫看向了李红军：“李教授，不知道咱们生产的这台光刻机，预计的售价大概是多少钱一台？”
李红军想了想道：“这个，我还真就没想过……主要是咱们的光刻机成本并不低，加工精度非常的高，轻微的震动就能造成误差。如果要是卖的话，我想怎么也要十万元一台。”
袁枫闻言还以为听错了呢！急忙道：“你说多少钱？”
“十万元一台！怎么了？太贵了吗！没办法，光刻机的加工成本在那放着呢！十万块赚不了多少钱的。”
“我也没说贵，我的意思是这太便宜了吧！佳能的同类型光刻机，价格大概要四十万呢！而且还是米金。对了李教授，你刚刚说的是人民币吧！不是米金吧？”
“不是米金，我说的是人民币。其实十万这个价格我认为还可以了，虽然佳能的光刻机价格更贵，但人家的技术也确实是超过我们的。而且人家自动化的程度也比我们的要高。无论怎么样也要承认我们和人家的差距。毕竟人家佳能可是老牌光刻机生产企业。”
“这倒也是！那不知道李教授一年能生产几台光刻机？”
“几台！”李红军闻言苦笑了一下道：“一年能生产一台就不错了。这机器是精密仪器，加工精度非常的高，某些部件的加工精度要达到微米级。这意味着在加工过程中，轻微的震动、温度变化甚至是空气流动都可能对加工结果造成严重影响。
而且光刻机的制造涉及到多个学科的知识，如光学、机械、电子、化学等。每一个部件的设计、生产、加工、组装都没那么容易。尤其是光学系统，它是光刻机的核心部分，任何一点微小的误差都可能导致整个机器无法正常工作。所以生产光刻机比想象的要困难的多。”
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