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第237章 光刻机

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梁安平断开电源,一边拆下示波器的连接线路,一边说道:“用稳压器只能滤除低频波纹,对高频波纹和尖峰的作用有限。我建议你们联系一下电力部门,给这家晶圆工厂单独安装一台变压器。如果能从高压变电站,单独拉一条高压线过来,那就更好了。”

找到了问题所在,吴志航立刻行动了起来,他回到办公室,给福田镇电管局打了个电话,将这里的情况说明了一下。吴志航港商的身份还是很好用的,电管局马上就安排工作人员,拉着一台全新的变压器,找上门来。经过一个多小时的忙碌,几名电工将这台新变压器安装到了原来那台变压器的旁边,然后把晶圆工厂的线路接到了新变压器上。

做完所有工作,领头的电工找上吴志航,说道:“吴老板,线路改造已经完成了,你们可以开启生产线测试一下,看看问题有没有解决。如果还不行,就单独拉一条高压线过来,不过那个需要重新埋电线杆,拉线,没有几天时间搞不定。”

吴志航和那位电工握握手,说道:“你们的效率真高,多谢了。我这就组织工人开工测试,希望问题能够顺利解决。”

吴志航通过工厂内的广播系统,将所有工人都喊过来上工。为了以防万一,梁安平用示波器再次测试了一下动力电源,“还有一点尖峰,应该是高压电网带进来的,干扰波纹基本没有了。开启生产线测试一下吧,看看效果如何。”

“好的,伙计们,开工喽!”

随着吴志航的一声令下,电源开关合上,整条生产线上的所有设备依次开启,逐步运转了起来,几百名穿着防尘服的工人也都忙碌了起来。前半个小时下线的晶圆,都是以前开工时完成大半工序,现在继续完成后续工序后的产品,经过检测之后,依旧全是废品。

生产线开启之后,吴志航、孟小刚、梁安平顶替了三名检测工人,一直坐在芯片测试仪前,不断检测着一张张新下线的晶圆。

“废品”“合格率0%”“废品”“合格率0%”……

突然,孟小刚惊呼一声,“老师、老板,你们快看看,这里出现了一枚合格的芯片!”

吴志航和梁安平赶紧凑过头去,查看了一下屏幕上的数据参数。吴志航高兴的说道:“竟然真的成了,太好了,看来改善电源确实有效。这才刚刚开机半个小时,全部工序走了刚刚四分之一,这就出现合格产品了,往后合格率只会越来越高。”

此后事情的发展确实如吴志航所料,随着时间的推移,一张晶圆上,出现的合格芯片数量越来越多。从一枚、两枚,到十枚、二十枚,一个小时后,这个数量达到了40枚。两个小时后,合格芯片的数量达到了最高,123枚,此后这个数字一直在120-130之间波动。

孟小刚统计完一百张晶圆的数据,推了推眼镜,总结道:“现在下线的晶圆,全部工序都是电源改造后完成的,合格率基本稳定下来了,大概在75%左右,咱们这算是成功了吧?”

吴志航哈哈一笑,说道:“那是当然,咱们已经成功了,晶圆工厂总算生产出合格产品了。”

梁雪梅带头鼓起了掌,然后梁安平、孟小刚跟着鼓掌,接着是车间内的全体职工都停下手头的工作,开始鼓掌。“哗哗哗”的掌声持续了很久很久,其间还夹杂着不少员工的欢呼声。直到吴志航发现了不妥,大声吼道:“干嘛呢,干嘛呢,庆祝归庆祝,手上的工作怎么能耽误,出了废品你们谁负责。都别愣着了,赶快回岗位上,忙活起来。”

经过吴志航的提醒,工人们这才发现生产线还没停,他们赶紧返回各自岗位,紧张的忙碌起来。

吴志航抬头看看车间内的时钟,说道:“梁教授,梁姑娘,这已经五点了,咱们去吃饭吧,顺便庆祝一下。孟厂长,车间这里你先盯一下,生产够1000个晶圆,就让生产线逐步停下。明天上午,咱们再尝试生产一些复杂的芯片。”

孟小刚点点头,说道:“好的老板,你们先去吃饭吧,厂房这里就交给我了。”

和孟小刚打过招呼后,吴志航三人向车间入口方向走去,只是走到半途,路过光刻机的时候,梁安平不由自主的放慢脚步,停了下来。吴志航和梁雪梅都走出几十米了,才发现旁边少了一个人,往后一看,梁安平正站在光刻机的旁边,一双有些浑浊的眼睛透过老花镜,一眨不眨的盯着正在运转中的光刻机。

吴志航和梁雪梅转身走回到梁安平身边,只听到他在那里不断的喃喃自语,“这是岛国佳能生产的商用一微米光刻机,如果采用多重曝光的加工方式,应该能生产出0.7微米的芯片,可惜这条生产线的其他设备都是按照一微米标准配置的,升级改造的潜力不大。啧啧啧,这台光刻机工作起来真是稳定,一点噪音都没有,加工速度也非常快,要是能拆开看看内部构造就好了,没准能原样仿制出来。”

梁雪梅撇撇嘴,说道:“爷爷,你想什么美事呢,就算吴老板舍得让你拆开测绘,你们半导体研究所,也没足够的研发资金来仿制这台光刻机。”

梁安平无奈的叹口气,说道:“你说的对,研究所那点拨款,也就刚刚够发工资的,根本拿不出余钱来立项、研发新产品。”

听完他们祖孙俩的对话,吴志航却是双眼一亮,插话进来说道:“梁教授,如果我们北极星愿意提供研发资金,和样品光刻机,你们中科院能不能出研发人员,咱们共同研发国产一微米光刻机?如果能研发成功,产品量产之后,获得的利益北极星和中科院可以平分。”

对吴志航的提议,梁平安也颇为心动,可是他只是半导体研究所的副所长,如此重大的事情,他一个人也决定不了。

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