荆州,未来科学城,“麒麟计划”临时研发中心。
夜已深,但这里依旧灯火通明,亮如白昼。
巨大的会议桌上,铺满了林承志院士那泛黄的手稿。陆远、孙谦、赵铁锤,以及十几个第一批归队的核心研究员,全都围在这里,每个人的脸上都带着一种近乎朝圣般的专注与狂热。
他们已经在这里不眠不休地“啃”了两天两夜。
“找到了!”孙谦突然发出一声惊呼,他指着一张写满了复杂光学公式的手稿,声音因激动而颤抖,“林老先生在十五年前,就已经推导出了浸润式光刻的技术路线!天哪……这个思路,比VLM公司公开他们的第一代浸润式光刻机,还要早整整三年!”
此言一出,整个会议室都沸腾了。
“什么?我们竟然领先了三年?”
“如果当年这个项目没有被砍掉……或许……”
所有人的目光都汇聚到那张手稿上,眼神中充满了惋惜、不甘,但更多的是一种油然而生的自豪感。
然而,陆远却泼了一盆冷水。他指着手稿下方,那一片被红色墨水反复涂抹、最终画上一个巨大叉号的区域,沉声道:“大家看这里。思路是领先了,但老师在最关键的一步上,卡住了。”
众人顺着他手指的方向看去,只见那片区域旁,用刚劲的笔迹写着一行小字:**光源二次偏振衰减问题,无解。此路不通。**
这短短十二个字,像一桶冰水,浇熄了所有人刚刚燃起的兴奋火焰。
光源二次偏振衰减,这是光刻机核心技术中的顶级难题。简单来说,就是当激光穿过一系列复杂的透镜组后,能量会发生不可控的衰减和偏振,导致投射在硅片上的电路图案出现致命的模糊和变形。
林老先生提出了天才的构想,却被这个物理规律的“叹息之墙”挡住了去路。
“怎么会……怎么会无解?”一名年轻的研究员喃喃自语,他无法接受这个结论。
“不是无解,”陆远目光如炬,他从旁边抽出另一份手稿,那上面画着一个极其复杂的机械结构草图,“老师后来放弃了在光学路径上解决问题,他试图用一个……一个匪夷所си的机械矫正系统来强行补偿这种衰减。但是,这个系统的精度要求,已经超出了当时人类工业制造的极限。”
赵铁锤凑了过来,他只看了一眼那张草图,就倒吸一口凉气:“我的老天……这种微米级的同步多轴联动机械臂,还要在超高频率下进行动态补偿……这……这不是机械,这是神学!”
会议室里陷入了一片死寂。
希望的大门刚刚打开一条缝,就又被一堵名为“物理规律”和“工业极限”的巨墙给堵死了。
“不。”
打破沉默的,依然是陆远。他眼中闪烁着一种近乎疯狂的光芒:“老师的时代,工业制造达不到。但是现在,二十年过去了!德国的精密传动,日本的特种陶瓷,瑞典的轴承……世界的工业水平已经迭代了数代!老师当年做不到,不代表我们今天也做不到!”
他转向孙谦:“老孙,你的算法!用你最强的算法,重新模拟林老师的光路模型,把衰减数据精确到小数点后十二位!”
他又转向赵铁锤:“铁锤!你立刻带队,根据这个神学般的草图,给老子把它的实际制造工艺要求给拆解出来!缺什么材料,缺什么设备,全球范围找!找不到,我们就自己造!”
陆远的声音,如同战鼓,重新点燃了每个人心中的火焰。
是的,巨人已经为我们指明了方向,哪怕他最终倒在了终点线前。而我们,作为站在巨人肩膀上的人,要做的,就是跨过他倒下的地方,继续向前!
……
荷兰,费尔德霍芬,VLM集团总部。
在一间极简风格的顶层会议室里,全球市场总监汉斯·范德梅尔正听取着远东市场分析师的季度汇报。
“……总的来说,我们在中国市场的地位依旧稳固,占据了高端光刻机90%以上的市场份额。”分析师自信地说道,“虽然中国政府一直在提倡自主研发,也涌现出一些公司,但他们的技术路线,普遍落后我们五到十年,不足为虑。”
范德梅尔满意地点了点头,端起咖啡准备喝一口。
“不过,有一个新动向,我认为需要引起关注。”分析师话锋一转,调出了一份资料,“中国一个名叫荆州的内陆城市,最近启动了一个代号‘麒麟’的半导体项目,由一个叫陈净的市委书记主导。他们的首席科学家,是陆远。”
“陆远?”范德梅尔皱了皱眉,这个名字他有点印象。
“是的,几年前试图挑战我们专利壁垒的那个中国学者。”分析师补充道,“他们的顾问,是林承志,中国在这个领域资历最老的人。最不寻常的是他们的资金来源和行事风格。他们在一周之内,就用非商业手段,扳倒了沪市的资本家冯瑞,后者正准备对陆远发起专利诉讼。”
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