基地内的科研团队把精密陶瓷部件造了出来，布一楠本以为这一块会卡住，却没有想大家给了她一个惊喜。
在高端光刻机中，涉及高效率、高精度、稳定性的运动控制技术和驱动技术，对结构件的精度和结构材料的性能提出了极高的要求。
之前提到过硅片对微振动的要求很高，在晶圆厂制造过程中为了有效减少这种损害，就需要采用一条机械流水线，杜绝减少震动的要求。
简单来说，就是人不要去碰，下盘再稳你也拿不住硅片！
全部用机器代劳，而这些机械臂吸盘等就需要很强大的平稳性、极高的弹性、导热系数和较低的热膨胀系数。
还有针对硅片易污染损坏的特性，这些精密陶瓷部件也必须是用更高纯度的碳化硅制造。
不过，等布一楠看到成品后却发现，这并不是碳化硅。
“这不是碳化硅，颜色比碳化硅多了一层绿色，而且密度比碳化硅还低，是什么？”
“您可真厉害！”
主导研究的张丛对着布一楠举起大拇指。
“我们发现堇青石加入陶瓷后它的导热系数是微晶玻璃的三倍，还具有和微晶玻璃一样的低热膨胀系数，制造出来的器具在高速移动时稳定性反而增加，而且整体质量远远小于微晶玻璃和石英玻璃材料作为平台结构材料。”
布一楠有些佩服这些人，不愧是老学者。想到的就是多，不过堇青石是蓝宝石的一种，在全世界都比较受欢迎，天然堇青石的价格昂贵。
而且龙华国只有宝岛地区有少量发现。
忽然布一楠意识到一个问题。
“这是人造堇青石还是天然的？”
“是用纯氧化合物合成的。”
王丛回答，听后布一楠扶额。
“……所以，咱的预算还够吗？！”
……
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