整个装配车间里鸦雀无声,大家都憋足了劲,生怕一个不小心就会破坏了大家心血。
“呼......”数小时后,李望亭和老张同时松了一口气,前后左右仔细检查,确定组装完毕。
“望亭同志,我们终于组装完成了。”老张激动地说。
“是啊,这可是我们所有人努力的结晶。”李望亭也是一脸喜悦。
“所长,我们现在要不要进行调试?”旁边一个技工小心翼翼地问。
“当然要调试了,这可是最后关头,我们必须确保机器正常工作。”李望亭正色道。
于是所有技工都屏住呼吸,望亭走到控制台前,深吸一口气,然后“哒”的一声按下了启动开关。
只听机器发出“嗡——”的声音启动,指示灯逐渐亮起,各项参数在屏幕上滚动。
“看来各系统都正常启动!”李望亭松了口气,接着开始仔细调试。
先后打开光源系统、传动系统,认真检查各个环节的连接。
然后他启动精密的数控系统,挨个调试三轴移动。
“X轴移动正常,Y轴移动正常,Z轴移动正常。”李望亭一项项确认道。
最后,李望亭将一片完美的光阻膜样品放入工作台。
“开始光刻!”李望亭输入指令,然后启动了自动曝光程序。
只听机器开始运转,所有人都屏息以待。
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