线条边缘锐利，关键尺寸（CD）均一性极佳。
“线宽……38纳米单次曝光极限。”马丁喃喃自语，“这已经逼近了瑞利判据的物理极限。”
“如果配合SAQP自对准四重曝光技术，”旁边的ASML首席科学家补充道，“理论上，我们可以把这就距缩小到10纳米以下。也就是7nm制程。”
“但这需要极高的套刻精度。”
“他们的算法里包含了非线性套刻补偿模型。”马丁指着数据日志，“你看，他们在计算掩膜版时，已经预判了晶圆在多次曝光过程中的热膨胀和机械形变，并提前做了反向补偿。”
“这是上帝视角。”
马丁转过身，看着站在玻璃窗外的林远，眼中没有了最初的怀疑，只剩下纯粹的技术敬畏。
他知道，ASML引以为傲的光学壁垒，被中国人的算力暴力给凿穿了。
回到会议室，谈判进入了实质性阶段。
这一次，温彼得的态度发生了180度转弯。
“林先生，测试结果令人印象深刻。我们原则上同意成立联合实验室。”
“但是，关于合作模式……”
“双向授权。”林远直接给出了方案。
“1. 联合研发实体： 在新加坡成立启明-ASML计算光刻联合实验室。该实验室为独立法人，不受美国法律管辖。”
“2. 数据不出境： ASML的光源核心数据，只能在新加坡的离线服务器上使用，不得传输回中国大陆。同样，我们的AI模型核心代码，也只在实验室内运行。”
“3. 商业分成： 开发出的女娲光刻软件，ASML拥有海外独家销售权，启明联盟拥有中国区独家使用权。销售利润五五分成。”
“4. 硬件支持：”林远盯着温彼得，“这是最关键的。我需要ASML承诺，优先保障启明联盟成员企业如中芯、华虹的DUV光刻机零部件供应和维护服务。并且，在合规范围内，向我们出售最高配置的浸没式DUV光刻机（NXT:2050i）。”
温彼得沉思了片刻。
这是一笔划算的买卖。ASML不需要付出任何核心硬件技术，仅仅是开放了一些软件接口和光学参数，就能获得一套世界领先的AI光刻系统，还能稳住中国这个最大的客户。
“成交。”温彼得伸出手。
“不过，林先生，我要提醒你。”温彼得压低了声音，“就算有了这套软件，有了DUV。要做7nm，你们还缺一样东西。”
“什么？”
“光刻胶。”
“做多重曝光，对光刻胶的稳定性要求极高。目前，全球能生产ArF浸没式光刻胶的企业，只有日本的JSR、东京应化和信越化学。”
“而这些公司……”温彼得意味深长地看了一眼林远，“都在东和财团的控制之下。”
林远的瞳孔微微收缩。
又是东和财团。
又是那个女人。
只要是在半导体这个圈子里，似乎永远绕不开她编织的那张大网。
“谢谢提醒。”林远面色不变，“光刻胶的问题，我会解决。”
第四现场：国产化的最后一公里。
离开ASML总部，林远在车上立刻召开了视频会议。
参会者：刘华美（科创基金）、王海冰（CTO）、以及那位刚刚被投资的国内光刻胶初创公司墨子材料的创始人，赵博士。
“赵博士，”林远看着屏幕，“我刚从荷兰拿到光。现在，我需要光刻胶。”
“日本人在卡我们的脖子。ArF浸没式光刻胶，国内的进度到底怎么样？”
赵博士推了推眼镜，面露难色：“林董，我们在树脂合成上已经突破了。但是，光刻胶是一个配方学。它包含树脂、光引发剂、溶剂、添加剂等几十种成分。配比差万分之一，良率就掉一半。”
“而且，我们缺乏验证环境。光刻胶配方调出来，得上光刻机跑。但国内的晶圆厂产能宝贵，不敢让我们试错。”
“验证环境，我给你。”林远斩钉截铁。
“我让江钢集团，拿出一台二手的尼康光刻机，专门给你们做测试。”
“同时，我给你找了个老师。”
林远看向王海冰。
“老王，联系我们在马来西亚和新加坡挖来的那些封测专家。他们很多人以前在日企工作过，懂日本人的材料体系。”
“还有，”林远眼中闪过一丝狠厉，“启动备胎计划B方案。”
“既然买不到日本的高端胶，那我们就自己造原材料。”
“刘华美，你立刻去一趟云南和湖南。”
“干什么？”刘华美不解。
“囤货。”
“光刻胶的核心原材料之一，是高纯度的镓和锗。而这两种金属，中国拥有全球80%以上的储量。”
“如果东和财团敢断我们的脚。”
“那我们就断他们的粮！”
“通知国内的矿业公司，以环保核查的名义，限制镓锗出口。同时，江南科创基金进场，按市场价全额收购所有的库存！”
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